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而且他们看到的还是第一次实验,也就是说掩膜也是第一次使用。
按照往常的惯例来看,掩膜的平均使用寿命是5-25次,这种第一次就出问题的概率很小,因此他也有些不确定到底是哪里出的问题。
为了验证自己的猜测,他和赵志民一起,看着屋内几人的动作,果然看到他们重启机器,给晶圆重新涂上光刻胶,再将掩膜板放置在上分,重新用光照射。
看起来和重新重复一遍刚刚的步骤没两样。
此时,闫旭东也确认了李筠的猜测没有错,甚至比他这个老手还要早看出问题,眼神中闪过一抹亮光。
嘴边却好奇的询问缘由,“不知道李师妹是怎么看出是掩膜出问题的?”
“刚刚闫师兄不是说新研制出来的分布式投影就是为了避免这个环节出错,所有我就大胆这么一猜。”
这个理由听起来好像找不出什么问题,可闫旭东听在耳里却总觉得怪怪的。
刚刚李筠说话时那笃定的神情,仿佛她一眼就能够看出问题,根本不像是她嘴里所说的猜测。
光是这么想,闫旭东整个人都有些烦躁,想不出道理他就能把想到抓耳挠腮。
赵志民则是傻乎乎地祝贺李筠,“小师妹你可真厉害,一眼就猜出原因了,就算是使用了小聪明,那也是十分厉害的。”
“就是碰巧了。”
“那也是本事。”
“按照现在两台机器的对比来看,安教授研究的投影式还是非常有必要的,比起另一台来说,速度简直了,要是以后都能用上,老师也不用愁每次要用什么来试验了。”
“创新还是很有必要的。”
李筠并没有直接赞同这句话,因为在后世,在考虑了成本和时间之后,最流行的还是接近式,在掩膜板和光刻胶基底层之间留有留有一个微小的缝隙,避免接触污染,也能节约金钱和时间成本。
而后年她们就能在自己的国家看见这样的机器,进一步缩小与国外差距。
最后第一个出现在众人眼前的就是投影式制作出来的晶片,只不过其具体性能如何,还要经过进一步的测试,这件事要等到老师回来之后主持,暂时还不能看。
赵志民也注意到这次的晶圆要更大一点,想到其存取的信息量更大,对于其造型好像能够理解了。
过了眼瘾,他就带着李筠和闫旭东告别,回到自家的实验室,继续忙活。
李筠也回到了自己的档案室,继续昏天暗地的翻阅资料。
接近一个星期的浏览,她对于自己所要书写的论文主题已经有了一个大概的想法,但是具体的内容她还得再思索一番。
而和两人告别的闫旭东,继续看着实验室内的试验完成,才仔细整理了自己的防护衣物之后走进去。
一进去他就找到负责接触式的人员。
大家一看到闫旭东来了,一个个吓得缩着脖子,实在是他们刚刚出现了一个不应该出现的意外,耽误了试验进程,影响对比结果。
闫旭东这个在实验室里向来以严苛闻名的人,肯定要给他们来上一顿狠狠地训斥。
似乎是担心相比于自己主动承担,被闫旭东责问更害怕,队伍里的队长挺身而出,在闫旭东还没有开口之前,直接对着他深深鞠躬,开口道:
“闫师兄,都是我们不小心,一时粗心大意,才让试验出现问题,请您说我们吧!”
闫旭东也没有想到自己什么都还没说,就把下面的师弟师妹们吓成这样,他不由得反思难道自己的脸看起来很吓人吗?
不过,他现在最关心的问题不是这个,赶紧把人叫起来。
“你别鞠躬,先站起来,我问你们一个事,你们是按照试验流程那样,一个个仔细排查才找出是掩膜出问题的吗?”
“啊?”
大家没想到,闫旭东进来就是为了问这个,一个个还有些缓不过神来,呆愣在原地。
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