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第1198章 霍爷工厂1198（第3页）

此外，工厂里还有一套先进的自动化物流系统。

无人驾驶的搬运车在车间内穿梭往来，按照预设的路线将原材料和成品准确地运输到各个工位。

这些搬运车通过激光导航和传感器技术，能够自动避开障碍物，实现高效而安全的物流运输。

同时，智能仓储系统利用立体货架和自动化堆垛机，实现了原材料和成品的快速存储和检索，大大提高了工厂的物流效率。

在与太空计划接轨的关键区域，有一台引人注目的太空环境模拟设备。

这台设备可以模拟出太空的真空、低温、辐射等极端环境，用于对产品进行严格的测试和验证。

产品被放置在模拟设备中，经受各种恶劣条件的考验，以确保它们在太空中能够稳定可靠地运行。

技术团队密切关注着设备运行过程中的各项数据，不断对产品进行优化和改进。

在工厂的中央控制室内，巨大的显示屏上实时显示着各个设备的运行状态、生产数据和质量指标等信息。

工程师们坐在控制台前，通过先进的监控系统对整个工厂的生产过程进行远程监控和管理。

他们可以随时发现并解决生产中出现的问题，确保工厂的高效运转。

霍爷的工厂里，这些先进的设备不仅展现了现代工业的高科技水平，更承载着与太空计划接轨的重要使命。

其中有一台先进的磁控溅射设备，它的操作流程十分严谨且精细。

首先是打开设备的环节。

操作人员需要先打开总控制电源，接着打开冷却水，要确保左边冷却腔壁和靶材、右边冷却分子泵的水流畅通。

然后打开左箱的总电源开关，在确认给真空室放气用的v3阀关紧后，按下机械泵按钮，打开真空计，再打开机械泵角阀。

之后便可打开分子泵电源，进行预热，并按下功能键复零。

当高气压显示小于6pa时，操作人员需要先关闭角阀，再打开电磁阀，按下star键启动分子泵，紧接着旋开板阀，开始抽本底真空。

当低气压显示达到约2．5x10—3pa左右，接近设定的值时，就可以打开衬底温度控制电源了。

先精心设定好衬底温度，需按enter键进行确认，再把功率设为3．15（该值确定不变）。

当衬底温度接近设定的温度时，便可打开右箱电源。

而当低气压显示达到设定的本底真空气压时，按下高真空计的功能键，调至手动模式。

接着打开流量计控制电源，把控制氩气的扳手调至阀控状态，打开v4（同时要确保v5打开、v6关闭），然后把氩气的高低压阀依次打开（先开高压阀，后开低压阀，注意低压表只能调至两格），通过流量计调节氩气的流量到设定值，再调节板阀旋钮使高真空计显示到设定的反应气压，最后打开溅射电源，并把功率调到设定的功率，观察腔内是否起辉，进行预溅射10至15分钟。

预溅射时间结束后，将溅射电源功率调到零，把板阀全部旋开，把控制氧气的流量计的扳手扳到阀控状态，旋开v6，再把氧气的流量控制扳手调至清零后复位，使氧气瓶低压表显示为零，接着把氧气瓶的高低压阀依次旋开（先高后低），调节氧气流量到设定的值，再次旋开板阀，调节腔体气压到设定值，把溅射电源功率重新调到设定的值。

各参数稳定后，就可以调节小车位置，开始正式的沉积工作了。

关闭设备的步骤也同样重要。首先要把溅射电源功率调到零，把板阀全部旋开，使小车停到挡板

接着关闭氧气瓶上的高低压阀（先高后低）和氩气瓶上的高低压阀（先高后低），关掉溅射电源开关，关掉小车开关，关掉右箱总电源。

然后把两个流量计扳手扳到关闭状态，再把流量计电源关掉，把衬底温度的电源功率调到零，再关闭衬底电源，按功能键把低压计调到自动模式，接着再抽一会儿真空。

随后把板阀全部旋紧，按s键关掉分子泵，关掉气压计电源。待分子泵转数为零后，把分子泵电源关掉，再关掉电磁阀，关掉机械泵，最后关掉左箱总电源开关以及冷却水和总电源开关。

在遇到紧急情况时，也有相应的操作方法。

如果分子泵工作时突然停电，需要先关掉两个箱的总电源，再把两气瓶的高低压阀关上（先关氧气的），然后把板阀旋紧，再关v4和v6，其他就按正常关闭步骤操作。

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