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第43章 老头带回来的坏消息（第2页）

老头说道：“那个模子，就类似掩膜板。我先说镜头，光越细，就越容易出现干涉条纹，这个你上中学应该学过。但是光刻机需要高精度，就必须使用短波长的光，现在基本都是用的汞光源的紫外光，就是让光不产生或者少产生干涉条纹。”

“但这还是不够，还要用到镜头，通过几块、十几块、甚至几十块透镜组合，让光线更好的聚焦。这就要求镜头极其光滑，打个比方，如果把一块镜头扩展到地球这么大平面，不能有一个几厘米高的土堆！”

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“以后随着精度的提高，对镜头的要求，也会随之提高！同时，玻璃虽然透光，但是镜头多了，光线也会衰减，这就需要透光率更高的玻璃！”

林天河目瞪口呆，他原来知道镜头技术含量很高，但没想到这么高！

这镜头怎么抛光？

打磨镜片的师傅手工抛光？

老头却猜到了林天河所想，说到：“你想的没错，他们现在是使用老师傅手工抛光！那台光刻机上面的镜头，是从几百片镜片中挑出来的！”

“我原想，他们既然能够生产3微米的光刻机了，那镜头应该不是问题，实际上却是大问题！我之前觉得能手搓光刻机，也真够狂妄无知了！”

老头满脸沮丧，他又何尝不是心里拔凉？但老头还没说完，接着又说到：“不光是镜头，工件台的问题也很大！步进投影式光刻机，采用的是缩放投影的方式工作。因此曝光区不再是整个硅片，而是其中的一小块面积，所以每曝光一次，硅片就必须移动到下一个区域再曝光，直到全部完成。”

“这样好处是提高了光刻的分辨率，但是曝光工作大量增加，这就是以牺牲速度换来更高的精度。”

“工件台的定位精度影响对准精度，运动的速度决定了光刻机每小时的硅片曝光量，光刻机的精度和效率全靠工件台的技术水平。”

“现在青华那台光刻机，是要精度没速度，要速度没精度。他们现在是需要停下来，手动调节，这你敢信？”

林天河原来哪知道这个，他之前听过双工件工件台这个名词，上市的华焯精创他还买过股票。

但是这工件台是怎么工作的，他是一无所知。

现在总算明白了，这就相当于春节卖对联，写一个字，往上面拉一下纸再写下一个。拉的位置不准，字写错位置，整张纸就废了。拉的太慢，一上午写不了几幅。

当然，人没有这么笨，还可以通过手臂调节，写到正确的位置上的，机器却不行。

但是青华的光刻机是手动调节？

光刻一个位置后，通过手柄移动位置？

一个位置调节要几分钟？几十分钟？还是几个小时？

老头又说道：“工件台的精度和速度要求极高，需要瞬间急加速然后瞬间急停。后世的工件台按照瞬间的加速度算，已经超过火箭发射升空的速度，而且还需要在下一刻精准的停在位置上，不能出现任何差错，因为这种速度下任何差错都没办法弥补。错了虽然不至于整片晶圆报废，但只能重来！”

这是人类在与物理极限做斗争呀，现在的光刻机要差很多吧？

林天河问道：“那后世的光刻机是怎么解决这个问题的？有没有借鉴意义？”

老头说道：“这方面的技术思路，最开始使用伺服电机驱动，但是精度不够。后来改用油压驱动，又会产生巨大的噪声和震动。”

“再往后，进步到气悬浮和磁悬浮。大致思路我知道，但是这个我完全不懂。ASML的磁悬浮，再搭配量测工具，那是他们的绝招，不会外传的。”

这东西，老头不懂，林天河更是不懂。听名字，大概知道是什么东西，但是具体是怎么工作的？鬼知道！

老头接着说道：“刚才就说到测量工具，这东西你肯定懂，但是重要性你却不懂！测量的精度，你更是一无所知！早在1930年代，DavidMann就制作出了微米轮，可以测量11000毫米。”

“1959年，GCA公司收购了DavidMann创办的这家机械测量仪器公司，成立了事业部。1961年，DavidMann公司发布了现代意义上的第一台光刻机，型号971。从这里你就可以看到测量精度的重要性！”

测量工具的重要性，林天河能够理解，但是要精密度要多高，老头没说。

比如你生产一台光刻机，你怎么知道能达到什么光刻精度？

安装时，地面的平整度，物镜与掩膜板的距离，掩膜板与工作台的距离，工件运送硅片的位置，全都需要测量。

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